申請對象：已完成簽屬TSMC University FinFET Program NDA協議(以下簡稱NDA)之全國公私立大學校院。(學校名單請參考https://www.tsri.org.tw/fab_services/fab_applydoc/TSMC_FinFET_NDA_UNIVERSITY_v114b.pdf )。
申請時間：即日起至114年9月30日(星期二)止。
申請方式：免備文，請於114年9月30日前至線上申請表單(https://reurl.cc/XQEGYe)，完成線上申請及用印後計畫書電子檔上傳作業，逾期未完成線上申請及計畫書電子檔上傳者，不予受理。
計畫期程：114年10月1日至116年2月28日。
本補助申請應踐行利益衝突迴避法第14條第2項身分揭露義務：「依公職人員利益衝突迴避法第14條第2項前段規定，公職人員或其關係人申請補助或交易行為前，應主動據實表明身分關係。又依同法第18條第3項規定，違者處新臺幣5萬元以上50萬元以下罰鍰，並得按次處罰。」，補助對象請併附公職人員及關係人身分關係揭露表